CF4氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù)，擁有探測(cè)器和光源，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和其他領(lǐng)域；其中探測(cè)器是超高靈敏度的增強(qiáng)型懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)。CF4氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、環(huán)境監(jiān)測(cè)及工業(yè)安全等領(lǐng)域。光聲光譜技術(shù)通過(guò)檢測(cè)氣體吸收光能后產(chǎn)生的聲信號(hào)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高穩(wěn)定性的CF4濃度測(cè)量。

CF₄氣體分析儀GASERA ONE 概述

GASERA ONE多氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù)，擁有探測(cè)器和光源，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和其他領(lǐng)域；其中探測(cè)器是超高靈敏度的增強(qiáng)型懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)。

CF₄氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、環(huán)境監(jiān)測(cè)及工業(yè)安全等領(lǐng)域。光聲光譜技術(shù)通過(guò)檢測(cè)氣體吸收光能后產(chǎn)生的聲信號(hào)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高穩(wěn)定性的CF₄濃度測(cè)量。

CF4氣體分析儀GASERA ONE-解決方案

通過(guò)選擇的光源類(lèi)型，GASERA ONE適合多種應(yīng)用需求；

對(duì)于更復(fù)雜的測(cè)量方案，幾個(gè)GASERA ONE可聯(lián)用為應(yīng)用提供一個(gè)簡(jiǎn)單解決方案。

CF4氣體分析儀GASERA ONE-操作

GASERA ONE為用戶(hù)提供了一個(gè)簡(jiǎn)單而直觀的高分辨率顯示器和控制按鈕。此外，用戶(hù)可以通過(guò)智能手機(jī)，平板電腦或其它設(shè)備控制GASERA ONE。

CF₄氣體分析儀GASERA ONE-技術(shù)

工作原理：激光光聲光譜

超靈敏MEMS懸臂梁傳感器光學(xué)麥克風(fēng)，耦合激光干涉儀測(cè)量懸臂梁微量位移

根據(jù)應(yīng)用需求配置光源，如靈敏度和氣體成分種類(lèi)

合適的光源包括可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器(TDL)，量子級(jí)，聯(lián)激光器(QCL)，外腔式量子級(jí)聯(lián)激光器(EC-QCL)，帶間級(jí)聯(lián)激光器，(ICL)，光學(xué)參量振蕩器 (OPO)，帶濾光片的寬帶紅外光源(NDIR)

氣室恒定溫度50℃

CF₄氣體分析儀GASERA ONE-通用

19"3 U工業(yè)機(jī)箱，適用于全部臺(tái)式或機(jī)架固定安裝

尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)

重量：約13kg

內(nèi)置7"前置顯示器的嵌入式計(jì)算機(jī)

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量足夠至少1年的連續(xù)監(jiān)測(cè)

總采氣量：10～30ml

后面板有四路氣體接口，兩路為采樣接口，配有粉塵顆粒物過(guò)濾器

供電：

輸入電壓：100～240VAC，50～60 Hz

輸入功率：100～200 W（根據(jù)具體要求而定）

通訊接口：Ethernet、USB

GASERA ONE可以通過(guò)智能手機(jī)，平板電腦,筆記本 電腦或另一個(gè)GASERA ONE來(lái)操作

CF₄氣體分析儀GASERA ONE-環(huán)境

工作條件:

      溫度范圍：0℃～ + 40℃

      濕度：低于90%RH,無(wú)凝露

      壓力范圍：大氣壓

      防護(hù)等級(jí)：IP20(IEC 529)

儲(chǔ)存條件：

      溫度范圍：-20℃～ + 60℃

采樣條件：

      溫度：0～ + 49℃

      濕度：無(wú)凝露

      氣體流量：約1L/min

      壓力：930mbar～1100mbar

      微粒< 1μm

CF₄氣體分析儀GASERA ONE-檢測(cè)參數(shù)

響應(yīng)時(shí)間：根據(jù)通道積分時(shí)間(C.I.T.)和氣體 置換周期，典型從5秒到幾分鐘

檢測(cè)限：0.1ppb

動(dòng)態(tài)量程：典型5級(jí)(100,000倍檢測(cè)限)

重復(fù)性：小于1%的測(cè)量值，在工作條件標(biāo)準(zhǔn)濃 度下

準(zhǔn)確度：取決于校準(zhǔn)濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體的精度，典型2～5 %

溫度穩(wěn)定性：在溫度工作范圍內(nèi)無(wú)影響

壓力穩(wěn)定性：在壓力工作范圍內(nèi)無(wú)影響