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越來越多的研究發現,在半導體圓片和液晶基板加工潔凈室中,除了存在空氣懸浮顆粒沾污外,還存在以氣相或蒸汽形式存在的分子污染物(AirborneMolecularContaminants,AMC)。隨著特征尺寸(CD)的不斷縮小,AMC將會越來越嚴重地影響圓片和液晶基板加工質量和成品率,并會影響潔凈室內工作人員的身體健康。文章介紹了AMC的分類、來源、危害性、控制標準和方法,希望以此引起人們對AMC的重視,并采取相應的控制措施。AMC可分為下列四類:(1)MA(Molecular...
垃圾分類這一政策雖然麻煩,但對于減少垃圾來說還是益處很大。北京第五座生活垃圾焚燒廠的負責人稱,“生活垃圾分類后,垃圾熱值能提升20%以上,大大提升了垃圾焚燒的發電量,隨著垃圾分類工作的推進,一方面垃圾焚燒廠在環保排放控制方面的壓力會降低,另一方面再生能源轉換率會進一步提升。”大家都知道,垃圾的處理通常分為填埋和焚燒兩種辦法,現如今國家人口眾多,沒有多少地可以用來填埋垃圾,一般用焚燒的方法處理比較多,焚燒垃圾可以發電,但同時也會產生有害氣體,所以需要監測氣體排放,防止有害氣體過...
固定污染源通常是指向環境排放或釋放有害物質或對環境產生有害影響的場所、設備和裝置。《國家大氣污染物排放標準制訂技術導則》(HJ945.1-2018)明確規定,固定污染源是指排放大氣污染物的各類行業企業、場所、生產設施、固定設備等,簡稱固定源。《固定源廢氣監測技術規范》(HJ/T397—2007)指明,污染源是排放大氣污染物的設施或建筑構造(如車間等)。固定源是燃煤、燃油、燃氣的鍋爐和工業爐窯以及石油化工、冶金、建材等生產過程中產生的廢氣通過排氣筒向空氣中排放的污染源。固定污染...